退火真空炉包括设置在炉管内的石英管、炉管的前后端、前端盖和后端盖，在炉管的外壁和内壁之间形成石英管加热腔，石英管和前端盖以及在端盖之间形成的反应腔。

　　管内风冷吹扫组件包括进气管、吹扫管和吸入管，进气管和吸入管设置在后端盖上，吸入管与反应室连通，吹扫管设置在反应室内，吹扫管一端与进气管连通，另一端延伸至前端盖。

　　吹扫管包括连接部、盘管部和延伸部，连接部与进气管连接，盘管部与连接部连接并位于后端盖附近，延伸部一端与盘管部连接，另一端延伸至前端盖附近。

　　在这种结构中，氮源气体通过管内的风冷吹扫组件进入反应室前端，氮气从反应室前端流向后端，吸收大量热量，然后从管内的风冷吹扫组件中抽离，从而达到对整个反应室的快速冷却效果。